(19)国家知识产权局(12)实用新型专利(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 202222588101.8(22)申请日 2022.09.28(73)专利权人 深圳中科飞测科技股份有限公司地址 518110 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301(72)发明人 罗思语黄有为陈鲁张嵩(74)专利代理机构 深圳精智联合知识产权代理有限公司 44393专利代理师 夏声平(51)Int.Cl.H01L 21/66 (2006.01)G02B 27/28 (2006.01)G02B 27/09 (2006.01)G02B 26/08 (2006.01) (54)实用新型名称晶圆检测平台(57)摘要本实用新型实施例提供的一种晶圆检测平台例如包括：检测台架；激光产生组件，设置在所述检测台架上；快门组件，包括普克尔斯盒和偏振片，所述普克尔斯盒和所述偏振片分别设置在所述检测台架上；扩束组件，设置在所述检测台架上；起偏器，设置在所述检测台架上；光路整形组件，设置在所述检测台架上；以及图像采集检测组件，设置在是检测台架上。本实用新型的实施例提供的晶圆检测平台具有极高的频率、极短的响应时间，能够长时间使用，且满足晶圆检测的多种需求。权利要求书2页 说明书6页 附图7页CN 218918793 U2023.04.25CN 218918793 U