隔振平台的振动分析 1. 前言 随着科学技术的快速发展，现代机械加工工业已步入精密、超精密时代，对设备的隔振提出了严格的要求。任何一合精密测量仪器或精密加工设备，其工作地点不可避免地存在环境振动。虽然经常强烈的振动是极少的，最多的情况是振幅为几微米的微小振动，但这些微小的振动，对于精密仪器和设备以及高精度的生产过程会有不可忽视的影响。因此，要完成高精度的测量或加工工作,必须采取隔振。被动隔振装置结构简单，且能很好地隔离振动。因此，在一般的隔振设备中，大多采用被动隔振。 精密隔振平台需要考虑环境干扰，有地面传来的振动，还有台面仪器设备的运动干扰、实验室人员走动，要求具有良好的隔振效果。为了防止外界振动对光学测量的精度造成影响，精密设备往往安装在隔振平台上。随着精密测量设备的快速发展，对其隔振系统的要求也越来越高。隔振系统也越来越显示出其重要性。本文以空气弹簧为主要元件的隔振平台为研究对象，采用 ANSYS 软件对隔振系统进行了模态分析，并讨论了谐响应情况。 2. 平台隔振系统的模型 建立简单的模型，隔振系统由平台和支承组成，平台材料为铸造碳钢，台面为 3m×2m，板厚为 0.1m，平台自重加上试件、连接件等总质量约为 4876kg；支承采用空气弹簧，共 4个，均匀布置，隔振系统模型如图 1。图 1 隔振系统的支撑布局 图 2 隔振系统的有限元模型 Fig.2 The finite element model ofisolation system Fig.1 The support layout ofisolation system