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气浮隔振光学平台

来源:本站     时间:2024-07-16     浏览:336

LBTEK提供气浮隔振系列光学平台结合日本先进的隔振技术。台面经过精密加工和迪纹哑光处理,可以保证0.05~0.10 mm/600 × 600 mm的平面度和0.8 μm粗糙度要求。机架根据不同台面规格分为四支撑与六支撑结构,并由连杆组成刚性结构。机架隔振系统采用空气弹簧结构设计,其工作时,内腔充入压缩空气,形成一个压缩空气柱。依靠橡胶气囊中压缩空气的压力变化取得减振效果。其工作固有频率在0.5~3 Hz,共振阻尼性能好,响应灵敏。空气弹簧巧妙采用双气室结构设计,附加气室以降低垂直刚度,并在空气弹簧本体和附加气室之间设置节流孔以提供阻尼。当空气弹簧受到激扰而产生变形时,节流孔两侧将产生压力差,空气弹簧在缓慢变位过程中,其压力差不大,而在快速变位过程, 则其压力差较大。压力空气流过节流孔时,将受到局部阻力作用而产生阻尼, 吸收一部分能量,从而起到减振作用。机架隔振系统除隔振结构外,还包括气路控制系统,气动元件均为品牌产品。平台机架底部带有集成式水平脚和脚轮,能满足实验室不同的空间需求。台面由高导磁不锈钢顶板、隔离杯层、中间蜂窝层和底板钢层组成,防止液体,杂质渗入蜂窝结构,并阻止气体在螺纹孔间的对流。台面下部机架为气浮隔振系统,能够有效减弱固有频率以上范围的振动。

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