(19)国家知识产权局(12)实用新型专利(10)授权公告号 CN 218385139 U(45)授权公告日 2023.01.24(21)申请号 202222434297.5(22)申请日 2022.09.14(73)专利权人 嘉兴微拓电子科技股份有限公司地址 314100 浙江省嘉兴市嘉善县罗星街道归谷二路18号(72)发明人 马忠英徐鑫(74)专利代理机构 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227专利代理师 汪文芹(51)Int.Cl.H01L 21/673 (2006.01)权利要求书1页 说明书5页 附图4页(54)实用新型名称一种晶圆检测平台调平装置(57)摘要本实用新型提出一种晶圆检测平台调平装 置，包括转接座块，转接座块中安装有配接滚轮， 配接滚轮下方设有配接楔块，该配接楔块顶部开 设有升降斜面，配接滚轮的外壁与升降斜面抵 合，配接楔块安装于平移机构上，该平移机构可 带动配接楔块平移。该调平装置在位于检测平台 底部的转接座块中安装配接滚轮，并在配接滚轮 下方安装具有升降斜面的配接楔块，同时配接楔 块安装于由丝杆螺母结构驱动的平移座板上，平 移座板通过平移导轨安装于导向座板上，平移座 板沿平移导轨移动时，可使配接楔块带动配接滚 轮在升降斜面上滚动，从而使转接座块及检测平 U 台上升或下降，使得检测平台的调平过程可实现9 无级调节，调平精度更高，有利于提升晶圆检测 3 1 5 效率和检测质量。

8 3 8 1 2N C CN 218385139 U权利要求书1/1页1.一种晶圆检测平台调平装置，包括转接座块，该转接座块连接于检测平台底部，其特 征在于：转接座块中安装有配接滚轮，该配接滚轮可在转接座块中转动，其底部从转接座块下 方露出；配接滚轮下方设有配接楔块，该配接楔块顶部开设有升降斜面，升降斜面与水平面之 间形成夹角，其倾斜方向与配接滚轮的轴向垂直，配接滚轮的外壁与升降斜面抵合；配接楔块安装于平移机构上，该平移机构可带动配接楔块平移，使升降斜面通过配接 滚轮带动转接座块及检测平台上升或下降。2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测平台调平装置，其特征在于：平移机构包括平移座板，该平移座板位于配接楔块下方，并与配接楔块固定连接；平移座板下方设有平移导轨，平移座板通过滑块安装于平移导轨上。3.根据权利要求2所述的一种晶圆检测平台调平装置，其特征在于：平移导轨下方设有导向座板，该导向座板与平移导轨固定连接。4.根据权利要求3所述的一种晶圆检测平台调平装置，其特征在于：导向座板与平移座板之间设有驱动丝杆，该驱动丝杆通过转动结构安装于导向座板顶 部，其轴向与平移导轨的延伸方向一致；导向座板与平移座板之间还设有螺母座，该螺母座套设于驱动丝杆上，并与驱动丝杆 啮合，平移座板通过连接件与螺母座连接；导向座板上设置有驱动电机，该驱动电机的动力输出轴与驱动丝杆连接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆检测平台调平装置，其特征在于：螺母座底部设有导向轴承，该导向轴承的轴向沿竖向延伸，导向座板中开设有导向滑 孔，该导向滑孔沿驱动丝杆的轴向延伸，并与导向轴承形状适配，导向轴承伸入导向滑孔 内，其外壁与导向滑孔内壁配合。6.根据权利要求3所述的一种晶圆检测平台调平装置，其特征在于：导向座板与平移座板之间设有复位拉簧，该复位拉簧沿平移导轨的轴向延伸。22 CN 218385139 U说明书1/5页一种晶圆检测平台调平装置 技术领域 [0001] 本实用新型涉及半导体器件生产设备，尤其涉及一种晶圆检测平台调平装置。 背景技术 [0002] 在晶圆检测过程中，晶圆片的承载平台对水平度要求较高，需要在检测前对检测 平台进行调平操作。CN202022303531.1公布了一种晶圆设备调平装置，其包括平台组件以 及第一调节组件，第一调节组件的一端用于承载晶圆盒，另一端转动地安装于平台组件，第 一调节组件能够相对平台组件升降，并带动晶圆盒相对平台组件运动，以调节晶圆盒相对 平台组件的位置，在晶圆盒需要进行水平调节时，能够通过转动第一调节组件，使晶圆盒水 平，同时可实现单独调平晶圆盒。

然而，这种调平装置的调节过程是将调节件安装于调节孔 内，通过调节件的高度变化实现晶圆盒的水平调节，再通过锁紧件实现调节件的位置稳定， 其精度较低，并且费时费力，不利于提升晶圆检测效率。因此，有必要对这种晶圆检测平台 的调平装置进行结构优化，以克服上述缺陷。 实用新型内容 [0003] 本实用新型的目的是提供一种晶圆检测平台调平装置，以便于对晶圆检测平台进 行调平。 [0004] 本实用新型为解决其技术问题所采用的技术方案是： [0005] 一种晶圆检测平台调平装置，包括转接座块，该转接座块连接于检测平台底部，其 中： [0006] 转接座块中安装有配接滚轮，该配接滚轮可在转接座块中转动，其底部从转接座 块下方露出； [0007] 配接滚轮下方设有配接楔块，该配接楔块顶部开设有升降斜面，升降斜面与水平 面之间形成夹角，其倾斜方向与配接滚轮的轴向垂直，配接滚轮的外壁与升降斜面抵合，可 在升降斜面上滚动； [0008] 配接楔块安装于平移机构上，该平移机构可带动配接楔块平移，使升降斜面通过 配接滚轮带动转接座块及检测平台上升或下降。 [0009] 平移机构包括平移座板，该平移座板位于配接楔块下方，并与配接楔块固定连接； [0010] 平移座板下方设有平移导轨，平移座板通过滑块安装于平移导轨上，可沿平移导 轨移动。

[0011] 在本实用新型的一个实施例中，平移导轨设有一对，各平移导轨位于同一水平面 上，其延伸方向与升降斜面的倾斜方向位于同一竖向平面中，平移座板沿平移导轨移动时， 可使配接楔块带动配接滚轮在升降斜面上滚动，从而使转接座块及检测平台上升或下降。 [0012] 在本实用新型的一个实施例中，与平移导轨的分布一致，滑块设有两组，各组滑块 分别安装于平移座板底部，并分别与平移导轨适配，以保证平移座板的移动过程稳定顺畅。 [0013] 平移导轨下方设有导向座板，该导向座板与平移导轨固定连接，由导向座板对平33 CN 218385139 U说明书2/5页 移导轨进行支承。 [0014] 在本实用新型的一个实施例中，导向座板安装于晶圆检测设备的固定部件例如其 机架上，处于固定状态。 [0015] 导向座板与平移座板之间设有驱动丝杆，该驱动丝杆通过转动结构安装于导向座 板顶部，可在导向座板与平移座板之间转动，其轴向与平移导轨的延伸方向一致； [0016] 导向座板与平移座板之间还设有螺母座，该螺母座套设于驱动丝杆上，并与驱动 丝杆啮合，平移座板通过连接件与螺母座连接，驱动丝杆转动时带动螺母座及平移座板移 动； [0017] 导向座板上设置有驱动电机，该驱动电机的动力输出轴与驱动丝杆连接，由驱动 电机带动驱动丝杆转动。

[0018] 在本实用新型的一个实施例中，平移座板底部设有一对转接支脚，各转接支脚分 别向平移座板下方延伸，并分列于螺母座两侧，螺母座通过连接件与转接支脚连接。 [0019] 在本实用新型的一个实施例中，导向座板端部设有装配端块，驱动电机安装于装 配端块上。 [0020] 在本实用新型的一个实施例中，导向座板两侧分别设有装配凸棱，各装配凸棱分 别向导向座板上方凸出，平移导轨安装于装配凸棱上，在装配凸棱之间形成驱动丝杆的容 纳空间。 [0021] 螺母座底部设有导向轴承，该导向轴承的轴向沿竖向延伸，导向座板中开设有导 向滑孔，该导向滑孔沿驱动丝杆的轴向延伸，并与导向轴承形状适配，导向轴承伸入导向滑 孔内，其外壁与导向滑孔内壁配合，由导向轴承对螺母座的移动过程进行导向。 [0022] 导向座板与平移座板之间设有复位拉簧，该复位拉簧沿平移导轨的轴向延伸，由 复位拉簧对平移座板进行辅助定位。 [0023] 在本实用新型的一个实施例中，复位弹簧设有一对，各复位弹簧一端连接于平移 座板边缘，另一端通过延伸板架与导向座板连接。 [0024] 本实用新型的优点在于： [0025] 该调平装置在位于检测平台底部的转接座块中安装配接滚轮，并在配接滚轮下方 安装具有升降斜面的配接楔块，同时配接楔块安装于由丝杆螺母结构驱动的平移座板上， 平移座板通过平移导轨安装于导向座板上，平移座板沿平移导轨移动时，可使配接楔块带 动配接滚轮在升降斜面上滚动，从而使转接座块及检测平台上升或下降，使得检测平台的 调平过程可实现无级调节，调节过程平稳且灵敏，调平精度更高，有利于提升晶圆检测效率 和检测质量。

附图说明 [0026] 图1是本实用新型提出的晶圆检测平台调平装置的顶面结构示意图； [0027] 图2是该调平装置的底面结构示意图； [0028] 图3是该调平装置的爆炸图； [0029] 图4是平移座板的底部结构示意图。44 CN 218385139 U说明书3/5页 具体实施方式 [0030] 为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新 型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描 述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和 示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附 图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围， 而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人 员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范 围。 [0031] 如图1～图4所示，本实用新型提出的晶圆检测平台调平装置包括转接座块100，该 转接座块连接于检测平台底部，转接座块中安装有配接滚轮110，该配接滚轮可在转接座块 中转动，其底部从转接座块下方露出，配接滚轮下方设有配接楔块200，该配接楔块顶部开 设有升降斜面，升降斜面与水平面之间形成夹角，其倾斜方向与配接滚轮的轴向垂直，配接 滚轮的外壁与升降斜面抵合，可在升降斜面上滚动，配接楔块安装于平移机构上，该平移机 构可带动配接楔块平移，使升降斜面通过配接滚轮带动转接座块及检测平台上升或下降。

[0032] 在实施例1中，平移机构包括平移座板310，该平移座板位于配接楔块下方，并与配 接楔块固定连接；平移座板下方设有平移导轨320，平移座板通过滑块311安装于平移导轨 上，可沿平移导轨移动。 [0033] 平移导轨下方设有导向座板330，该导向座板与平移导轨固定连接，由导向座板对 平移导轨进行支承。 [0034] 导向座板与平移座板之间设有驱动丝杆340，该驱动丝杆通过转动结构安装于导 向座板顶部，可在导向座板与平移座板之间转动，其轴向与平移导轨的延伸方向一致； [0035] 导向座板与平移座板之间还设有螺母座341，该螺母座套设于驱动丝杆上，并与驱 动丝杆啮合，平移座板通过连接件与螺母座连接，驱动丝杆转动时带动螺母座及平移座板 移动； [0036] 导向座板上设置有驱动电机342，该驱动电机的动力输出轴与驱动丝杆连接，由驱 动电机带动驱动丝杆转动。 [0037] 螺母座底部设有导向轴承343，该导向轴承的轴向沿竖向延伸，导向座板中开设有 导向滑孔，该导向滑孔沿驱动丝杆的轴向延伸，并与导向轴承形状适配，导向轴承伸入导向 滑孔内，其外壁与导向滑孔内壁配合，由导向轴承对螺母座的移动过程进行导向。

[0038] 导向座板与平移座板之间设有复位拉簧350，该复位拉簧沿平移导轨的轴向延伸， 由复位拉簧对平移座板进行辅助定位。 [0039] 在实施例2中，平移机构包括平移座板310，该平移座板位于配接楔块下方，并与配 接楔块固定连接；平移座板下方设有平移导轨320，平移座板通过滑块311安装于平移导轨 上，可沿平移导轨移动。 [0040] 在本实施例中，平移导轨设有一对，各平移导轨位于同一水平面上，其延伸方向与 升降斜面的倾斜方向位于同一竖向平面中，平移座板沿平移导轨移动时，可使配接楔块带 动配接滚轮在升降斜面上滚动，从而使转接座块及检测平台上升或下降。 [0041] 在本实施例中，与平移导轨的分布一致，滑块设有两组，各组滑块分别安装于平移55 CN 218385139 U说明书4/5页 座板底部，并分别与平移导轨适配，以保证平移座板的移动过程稳定顺畅。 [0042] 平移导轨下方设有导向座板330，该导向座板与平移导轨固定连接，由导向座板对 平移导轨进行支承。 [0043] 在本实施例中，导向座板安装于晶圆检测设备的固定部件例如其机架上，处于固 定状态。 [0044] 导向座板与平移座板之间设有驱动丝杆340，该驱动丝杆通过转动结构安装于导 向座板顶部，可在导向座板与平移座板之间转动，其轴向与平移导轨的延伸方向一致； [0045] 导向座板与平移座板之间还设有螺母座341，该螺母座套设于驱动丝杆上，并与驱 动丝杆啮合，平移座板通过连接件与螺母座连接，驱动丝杆转动时带动螺母座及平移座板 移动； [0046] 导向座板上设置有驱动电机342，该驱动电机的动力输出轴与驱动丝杆连接，由驱 动电机带动驱动丝杆转动。

[0047] 在本实施例中，平移座板底部设有一对转接支脚312，各转接支脚分别向平移座板 下方延伸，并分列于螺母座两侧，螺母座通过连接件与转接支脚连接。 [0048] 在本实施例中，导向座板端部设有装配端块331，驱动电机安装于装配端块上。 [0049] 在本实施例中，导向座板两侧分别设有装配凸棱332，各装配凸棱分别向导向座板 上方凸出，平移导轨安装于装配凸棱上，在装配凸棱之间形成驱动丝杆的容纳空间。 [0050] 螺母座底部设有导向轴承343，该导向轴承的轴向沿竖向延伸，导向座板中开设有 导向滑孔，该导向滑孔沿驱动丝杆的轴向延伸，并与导向轴承形状适配，导向轴承伸入导向 滑孔内，其外壁与导向滑孔内壁配合，由导向轴承对螺母座的移动过程进行导向。 [0051] 导向座板与平移座板之间设有复位拉簧350，该复位拉簧沿平移导轨的轴向延伸， 由复位拉簧对平移座板进行辅助定位。 [0052] 在本实施例中，复位弹簧设有一对，各复位弹簧一端连接于平移座板边缘，另一端 通过延伸板架与导向座板连接。 [0053] 在本实施例中，导向座板一侧安装有位置传感器360，位置传感器与平移座板配 合，可对平移座板的移动位置进行感测，导向座板另一侧安装有极限位传感器370，可对平 移座板的移动范围进行限制，位置传感器及极限位传感器采用光电传感器等，其为现有技 术，因此未做详述。

[0054] 这种调平装置在使用时一般需要配置三件，各调平装置均位于检测平台下方，共 同对检测平台进行水平度调节，检测平台置于调平装置上，配接滚轮在升降斜面上滚动时， 检测平台依靠自身的重量对配接滚轮施加向下的压力，同时配合复位弹簧的横向拉力，使 得配接滚轮与升降斜面紧密抵合。 [0055] 该调平装置在位于检测平台底部的转接座块中安装配接滚轮，并在配接滚轮下方 安装具有升降斜面的配接楔块，同时配接楔块安装于由丝杆螺母结构驱动的平移座板上， 平移座板通过平移导轨安装于导向座板上，平移座板沿平移导轨移动时，可使配接楔块带 动配接滚轮在升降斜面上滚动，从而使转接座块及检测平台上升或下降，使得检测平台的 调平过程可实现无级调节，调节过程平稳且灵敏，调平精度更高，有利于提升晶圆检测效率 和检测质量。 [0056] 在本实用新型的描述中，需要说明的是，出现“上”、“下”、“内”、“外”、“左”、“右”等66 CN 218385139 U说明书5/5页 指示的方位或位置关系的术语时，应理解为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实 用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或 位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元 件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，出现“第一”、“第二”等术语时，仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要 性。在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“安装”、“设 置”、“连接”等术语应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或 一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间 接连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况 理解上述术语在本实用新型中的具体含义。77 CN 218385139 U说明书附图1/4页图188 CN 218385139 U说明书附图2/4页图299 CN 218385139 U说明书附图3/4页图31010 CN 218385139 U说明书附图4/4页图41111