本实用新型专利技术提供一种用于大型精密仪器的主动隔振平台，包括顶板、空气弹簧和支腿，所述顶板底部四个角分别连接有空气弹簧，所述空气弹簧底部连接有第一支撑板，所述第一支撑板底部四个角分别连接有支腿，所述支腿之间连接有第二支撑板，所述第一支撑板上安装有位移传感器和速度传感器，所述第二支撑板上连接有控制器。本实用新型专利技术基于镂空橡胶板的三层顶板被动隔振设计，降低了系统固有频率，同时与空气弹簧主动隔振器串联设计，实现低频隔振，获得较宽的隔振带，0.5~150Hz范围内均具有较好的隔振效果，同时钢构混凝土支腿，提高了系统承载力，能够满足大型精密仪器的隔振要求，防微振等级可达VC

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【技术实现步骤摘要】

一种用于大型精密仪器的主动隔振平台

[0001]本技术涉及隔振装置

，具体是一种用于大型精密仪器的主动隔振平台。

技术介绍

[0002]基座作为精密仪器的支撑基础和安装平台，通过设有钢铁配件与精密仪器固定连接，其稳固性和对满足技术要求的环境直接影响仪器的工作精度，对投入生产后的产品质量、生产安全都有很大影响，特别是在半导体和光电等对所用仪器的精密度要求极高的行业中。

[0003]由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术，对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。振动控制部分是隔振平台的核心，针对中高频振动，多采用被动隔振，被动隔振结构简单、工作可靠、不依赖电源，可以有效地隔绝中高频振动干扰。针对低频甚至或超低频振动，多采用主动隔振，气动主动隔振自适应性好，通过作动器输出反向力抵消低频振动，具有优越的低频或超低频隔振性能。精密仪器所处环境不是单一的高频振动或低频振动，是多种频率的复杂的震动环境，而目前隔着平台多是针对单一高频或低频振动，对于复杂振动环境的隔振能力较差，隔振带较窄，尤其很难满足大型精密仪器的载重及隔振要求。

技术实现思路

[0004]技术的目的在于提供一种用于大型精密仪器的主动隔振平台，以解决上述

技术介绍

中存在的问题。

[0005]本技术的技术方案是这样实现的：

[0006]一种用于大型精密仪器的主动隔振平台，包括顶板、空气弹簧和支腿，所述顶板底部四个角分别连接有空气弹簧，所述空气弹簧底部连接有第一支撑板，所述第一支撑板底部四个角分别连接有支腿，所述支腿之间连接有第二支撑板，所述第一支撑板上安装有位移传感器和速度传感器，所述第二支撑板上连接有控制器。

[0007]进一步地，所述顶板包括面板、橡胶板和底板，所述面板和底板均为不锈钢板，所述橡胶板为镂空橡胶板，橡胶板内部设有矩形镂空。

[0008]进一步地，所述第一支撑板为不锈钢板，所述第一支撑板中间部位开设有矩形开孔。

[0009]进一步地，所述第二支撑板为不锈钢板，所述第二支撑板焊接在四个支腿内侧。

[0010]进一步地，所述支腿为方形钢管，所述方形钢管内部浇筑有混凝土。

[0011]进一步地，所述控制器通过电缆穿过开孔与空气弹簧、位移传感器、速度传感器连接。

[0012]本技术的有益效果为：

[0013]本技术基于镂空橡胶板的三层顶板被动隔振设计，降低了系统固有频率，同时与空气弹簧主动隔振器串联设计，实现低频隔振，获得较宽的隔振带，0.5~150Hz范围内均具有较好的隔振效果，同时钢构混凝土支腿，提高了系统承载力，能够满足大型精密仪器的隔振要求，防微振等级可达VC

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E级。

附图说明

[0014]图1为本技术的结构示意图。

[0015]图中1

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顶板，101

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面板，102

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橡胶板，103

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底板，2

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空气弹簧，3

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第一支撑板，301

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开孔，4

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支腿，5

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第二支撑板，6

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位移传感器，7

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速度传感器，8

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控制器，9

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电缆。

具体实施方式

[0016]下面将结合实施例对本技术技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。

[0017]如图1所示，一种用于大型精密仪器的主动隔振平台，包括顶板1、空气弹簧2和支腿4，所述顶板1底部四个角分别连接有空气弹簧2，所述空气弹簧2底部连接有第一支撑板3，所述第一支撑板3底部四个角分别连接有支腿4，所述支腿4之间连接有第二支撑板5，所述第一支撑板3上安装有位移传感器6和速度传感器7，所述第二支撑板5上连接有控制器8。

[0018]所述顶板1包括面板101、橡胶板102和底板103，所述面板101和底板103均为不锈钢板，所述橡胶板102为镂空橡胶板，橡胶板102内部设有矩形镂空。

[0019]所述第一支撑板3为不锈钢板，所述第一支撑板3中间部位开设有矩形开孔301。

[0020]所述第二支撑板5为不锈钢板，所述第二支撑板5焊接在四个支腿4内侧。

[0021]所述支腿4为方形钢管，所述方形钢管内部浇筑有混凝土。

[0022]所述控制器8通过电缆9穿过开孔301与空气弹簧2、位移传感器6、速度传感器7连接。

[0023]以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。

【技术保护点】

【技术特征摘要】

1.一种用于大型精密仪器的主动隔振平台，包括顶板、空气弹簧和支腿，其特征在于，所述顶板底部四个角分别连接有空气弹簧，所述空气弹簧底部连接有第一支撑板，所述第一支撑板底部四个角分别连接有支腿，所述支腿之间连接有第二支撑板，所述第一支撑板上安装有位移传感器和速度传感器，所述第二支撑板上连接有控制器。2.根据权利要求1所述的一种用于大型精密仪器的主动隔振平台，其特征在于，所述顶板包括面板、橡胶板和底板，所述面板和底板均为不锈钢板，所述橡胶板为镂空橡胶板，橡胶板内部设有矩形镂空。3.根据权利要求1所述的一种用于大...

【专利技术属性】

技术研发人员：李妍，于超，李斌，

申请(专利权)人：大连地拓电子工程技术有限公司，

类型：新型

国别省市：

全部详细技术资料下载 我是这个专利的主人