【产通社，4月8日讯】半导体芯片在设计制造中需要经过数百万次测量、验证，才能获得预期的性能、功率、面积成本和上市时间（PPACt）。面对半导体工艺中成千上万的工艺变量，应用材料公司（Applied Materials）推出了一款创新平台AIx，使工程师能够实时观察半导体工艺，对晶圆和单个芯片进行数百万次测量，并优化成工艺变量，加速新芯片技术发现、开发和商业部署。

平台特点

尽管工程师可选择的工艺变量成千上万，但只有少数难以捉摸的相关性才是优化配方以获得世界级结果的关键。AIx代表可执行洞察力加速器（Actionable Insight Accelerator），利用大数据和人工智能的力量在半导体技术生命周期的每个阶段，从研发到增长和大规模量产，都能为客户带来更好的体验。

AIx平台包括：

（1）反应腔AITM：应用材料公司工艺反应腔的新传感器和机器学习算法，为工程师提供包括化学、能量、压力、温度和持续时间在内的实时变量分析。

（2）板载计量：独特的真空计量技术，能够在新薄膜沉积时以埃级精度进行测量。

（3）在线计量：基于应用材料公司电子束计量的独特算法，与传统方法相比，测量速度提高100倍，分辨率提升50%。工程师每小时可以获得超过一百万个3D晶圆测量值，以纳米尺度评估配方中的微小变化对片上器件和结构的影响。

（4）AppliedPRO：工艺配方优化器（Process Recipe Optimizer）可生成数字工艺图，有助于加速材料和配方开发、减少可变性、扩大工艺窗口。AppliedPRO可用于优化单个腔室和工具，同时还可以加速整个系统的匹配。

（5）数字化分身：AIx平台包括精选的应用材料公司腔室和系统的数字化分身模型，支持虚拟实验，加速配方开发，改善匹配和增长转移，并优化大规模量产的产量和良率。

（6）计算：AIx平台包括使用机器学习和人工智能算法存储和分析海量数据所需的计算资源。

应用生态

AIx是一个新的工具包，致力于加速研发，从而缩短取得成果的时间并最终缩短变现时间，适用于应用材料公司所有工艺设备、电子束计量系统和检测系统，并可从实验室扩展到晶圆厂。

在这个世界里，来自3D图像、原位计量和传感器的数据可以堆叠，随后被提取为可操作的信息。AIx超越了数十年来基于线性数据流的传统统计学工艺控制方法，通过赋予工程师在研发期间识别创新配方的能力，AIx可提高转移以及进入大规模量产（HVM）的速度，把工程师带入一个全新的多维世界。（张怡，产通发布）